Polisilikon taýýarlamagyň usuly.

1. adingüklemek

Heatylylyk alyş-çalyş stolunyň üstünde örtülen kwars ýerleşdiriň, kremniniň çig malyny goşuň, soňra ýyladyş enjamlaryny, izolýasiýa enjamlaryny we peç örtügini guruň, peçdäki basyşy 0.05-0.1mbar çenli azaltmak we wakuumy saklamak üçin ojagy ewakuasiýa ediň. Peçdäki basyşy esasan 400-600mbar töwereginde saklamak üçin argony goraýjy gaz hökmünde tanadyň.

2. atingyladyş

Peçiň bedenini gyzdyrmak üçin grafit gyzdyryjy ulanyň, ilki bilen grafit bölekleriniň, izolýasiýa gatlagynyň, kremniniň çig malynyň we ş.m. ýüzüne ýerleşdirilen çyglylygy bugaryp, kwarsyň temperaturasynyň takmynan 1200-1300-e ýetmegi üçin ýuwaş-ýuwaşdan gyzdyryň.℃. Bu amal 4-5 sagat dowam edýär.

3. Eremek

Peçdäki basyşy esasan 400-600mbar töwereginde saklamak üçin argony goraýjy gaz hökmünde tanadyň. Aýlawdaky temperaturany takmynan 1500-e laýyklaşdyrmak üçin ýyladyş güýjüni kem-kemden ýokarlandyryň℃we kremniniň çig maly eräp başlaýar. 1500 töweregi saklaň℃ereýänçä, ereýänçä. Bu amal takmynan 20-22 sagat dowam edýär.

4. Kristal ösüş

Silikon çig maly eredilenden soň, ýylylyk güýji peselip, temperaturanyň takmynan 1420-1440-a çenli peselmegine sebäp bolýar.℃kremniniň ereýän nokady. Soňra haçly kwars kem-kemden aşak süýşýär ýa-da izolýasiýa enjamy kem-kemden ýokarlanýar, şonuň üçin kwars çaltlyk bilen ýyladyş zolagyndan çykýar we daş-töweregi bilen ýylylyk çalşygyny emele getirýär; şol bir wagtyň özünde suwuň aşagyndan ereýän temperaturany peseltmek üçin sowadyjy plastinkadan geçýär we düýbünde kristal kremniý emele gelýär. Ösüş prosesinde gaty-suwuk interfeýs, kristal ösüşi gutarýança hemişe gorizontal tekizlige paralel bolup galýar. Bu amal takmynan 20-22 sagat dowam edýär.

5. Annealing

Kristalyň ösüşi gutarandan soň, kristalyň aşagy bilen ýokarsyndaky uly temperatura gradiýenti sebäpli, kremniý wafli gyzdyrylanda we batareýa taýýarlanylanda täzeden döwmek aňsat bolan ingotda termiki stres bolup biler. . Şonuň üçin kristal ösüşi gutarandan soň, kremniniň ingot temperaturasyny birmeňzeş etmek we ýylylyk stresini azaltmak üçin kremniniň ingoty eriş nokadynyň golaýynda 2-4 sagat saklanýar.

6. Sowuklamak

Silikon ingot peçde ýakylansoň, ýyladyş güýjüni öçüriň, ýylylyk izolýasiýa enjamyny ýokarlandyryň ýa-da kremniniň ingotyny düýbünden peseldiň we kremniniň ingotynyň temperaturasyny ýuwaş-ýuwaşdan peseltmek üçin peje argon gazynyň uly akymyny giriziň. otag temperaturasy; şol bir wagtyň özünde, peçdäki gaz basyşy atmosfera basyşyna ýetýänçä kem-kemden ýokarlanýar. Bu amal takmynan 10 sagat dowam edýär.